根据动力源的不同，工业机器人的驱动系统分为气动、液压和电动。气压驱动速度快，结构简单，维护方便，价格低廉，由于气动装置的工作压力低，不容易准确定位，一般用于驱动工业机器人执行器的末端。气动抓手、旋转气缸和气动吸盘作为执行机构的末端，可用于抓手和中小负荷部件的装配。液压传动是一项比较成熟的技术，具有动力、力和惯性比、响应速度快、易于实现直接传动等优点。广泛应用于承载能力大、惯性大、阻力大的环境中。因液压系统需要能量转换(将电能转化为液压能) ，在大多数情况下，使用节流阀速度控制的速度控制效率将低于电驱动系统；另外液压系统会对环境产生污染，工作噪音也很高，液压驱动系统已经被电力驱动系统所取代。

电机驱动是工业机器人的主要驱动方式。电机分为四大类: 直流伺服电机、交流伺服电机、步进电机和直线电机。直流伺服电机和交流伺服电机是高精度、高速度机器人的闭环控制，步进电机是低精度、低速度机器人的开环控制，直线电机技术及其驱动控制系统日趋成熟，具有传统传动装置无法比拟的优越性能，如适应超高速、超低速、高加速度、高精度、无返回、磨损小、结构简单、无传动机构和齿轮轴联轴器等。